A tecnoloxía de canalización de gases de alta pureza é unha parte importante do sistema de subministración de gas de alta pureza, que é a tecnoloxía clave para entregar o gas de alta pureza requirido ata o punto de uso e manter a calidade cualificada; A tecnoloxía de canalización de gas de alta pureza inclúe o deseño correcto do sistema, a selección de accesorios e accesorios, construción e instalación e probas. Nos últimos anos, os requisitos cada vez máis estritos sobre o contido de pureza e impureza de gases de alta pureza na produción de produtos de microelectrónica representados por circuítos integrados a gran escala fixeron que a tecnoloxía de canalización de gases de alta pureza sexa cada vez máis preocupada e enfatizada. A continuación móstrase unha breve visión xeral da canalización de gas de alta pureza da selección de materiaisof construción, así como aceptación e xestión diaria.
Tipos de gases comúns
Clasificación de gases comúns na industria electrónica：
Gases comúns（Gas a granel）: hidróxeno (h2), nitróxeno (n2), osíxeno (o2), Argon (a2), etc.
Gases especializadosson sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2Cl2 Sihcl3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,Clf3 ,Co,C2F6, N2O,F2,Hf,HBR SF6…… etc.
Os tipos de gases especiais xeralmente pódense clasificar como corrosivosgas, tóxicogas, inflamablegas, combustiblegas, inertegas, etc. Os gases semicondutores de uso común clasifícanse xeralmente do seguinte xeito.
(i) corrosivo / tóxicogas: Hcl, bf3, Wf6, Hbr, sih2Cl2, NH3, Ph3, Cl2, Bcl3... etc.
(ii) Inflamabilidadegas: H2, Cap4, Sih4, Ph3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, Ch2f2,Cap3F, CO ... etc.
(iii) Combustibilidadegas: O2, Cl2, N2O, NF3... etc.
(iv) inertegas: N2, Cf.4, C2F6, C4F8,Sf6, Co2, Ne, Kr, He ... etc.
Moitos gases semicondutores son prexudiciais para o corpo humano. En particular, algúns destes gases, como o SiH4 A combustión espontánea, sempre que unha fuga reaccione violentamente co osíxeno no aire e comece a queimar; e cinza3Altamente tóxico, calquera lixeira fuga pode causar o risco de vida humana, é debido a estes perigos obvios, polo que os requisitos para a seguridade do deseño do sistema son especialmente altos.
Ámbito de aplicación dos gases
Como unha importante materia prima básica da industria moderna, os produtos de gas son moi utilizados e un gran número de gases comúns ou gases especiais úsanse en metalurxia, aceiro, petróleo, industria química, maquinaria, electrónica, vidro, cerámica, materiais de construción, construción, procesamento de alimentos, medicamentos e sectores médicos. A aplicación do gas ten un impacto importante na alta tecnoloxía destes campos, en particular, e é o seu indispensable gas de materia prima ou gas de proceso. Só coas necesidades e promoción de diversos novos sectores industriais e ciencia e tecnoloxía moderna, os produtos da industria do gas pódense desenvolver a pasos e límites en termos de variedade, calidade e cantidade.
Aplicación de gas na industria de microelectrónica e semiconductores
O uso do gas sempre xogou un papel importante no proceso de semicondutores, especialmente o proceso de semiconductor foi moi utilizado en varias industrias, desde a tradicional ULSI, TFT-LCD ata a industria actual microelectro-mecánica (MEMS), que usan o chamado proceso de semiconductor como proceso de fabricación dos produtos. A pureza do gas ten un impacto decisivo no rendemento de compoñentes e rendementos do produto, e a seguridade do subministro de gas está relacionada coa saúde do persoal e a seguridade das operacións vexetais.
A importancia da canalización de alta pureza no transporte de gas de alta pureza
No proceso de fusión e material de aceiro inoxidable, pódense absorber uns 200 g de gas por tonelada. Despois do procesamento de aceiro inoxidable, non só a súa superficie pegajosa con varios contaminantes, senón que tamén na súa celosía metálica tamén absorbeu unha certa cantidade de gas. Cando hai fluxo de aire polo gasoduto, o metal absorbe esta parte do gas volverá entrar no fluxo de aire, contaminando o gas puro. Cando o fluxo de aire no tubo é un fluxo discontinuo, o tubo adsorba o gas a presión e cando o fluxo de aire deixa de pasar, o gas adsorbido polo tubo forma unha caída de presión para resolver e o gas resolto tamén entra no gas puro no tubo como impurezas. Ao mesmo tempo, repítese a adsorción e a resolución, de xeito que o metal na superficie interior do tubo tamén produce unha certa cantidade de po, e esta partículas de po metálico tamén contaminan o gas puro dentro do tubo. Esta característica do tubo é esencial para garantir a pureza do gas transportado, que require non só unha suavidade moi alta da superficie interior do tubo, senón tamén unha alta resistencia ao desgaste.
Cando se usa o gas cun forte rendemento corrosivo, os tubos de aceiro inoxidable resistentes á corrosión deben usarse para a canalización. Se non, o tubo producirá manchas de corrosión na superficie interior debido á corrosión e, en casos graves, haberá unha gran área de desposuído ou incluso perforación de metais, que contaminará o gas puro que se distribuirá.
A conexión de pipelinas de alta pureza e de alta limpeza de gases de gasolina e distribución de grandes caudais.
En principio, todos eles están soldados e os tubos empregados son necesarios para non ter ningún cambio na organización cando se aplica a soldadura. Os materiais cun contido de carbono demasiado alto están suxeitos á permeabilidade do aire das partes soldadas ao soldar, o que fai que a penetración mutua de gases dentro e fóra da tubería e destrúa a pureza, a sequedad e a limpeza do gas transmitido, obtendo a perda de todos os nosos esforzos.
En resumo, para gases de alta pureza e gasoduto de transmisión de gas especial, é necesario empregar un tratamento especial de tubos de aceiro inoxidable de alta pureza, para facer un sistema de gasoductos de alta pureza (incluíndo tubos, accesorios, válvulas, VMB, VMP) na distribución de gas de alta pureza ocupa unha misión vital.
Concepto xeral de tecnoloxía limpa para oleoductos de transmisión e distribución
A transmisión do corpo de gas altamente pura e limpa con canalización significa que hai certos requisitos ou controis para que se transporten tres aspectos do gas.
Pureza do gas: o contido da atmosfera de impureza na pureza GGAS: o contido da atmosfera de impureza no gas, normalmente expresado como unha porcentaxe de pureza do gas, como o 99.9999%, tamén expresada como a relación de volume do contido de atmosfera de impureza PPM, PPB, PPT.
Secación: a cantidade de rastrexo de humidade no gas, ou a cantidade chamada humidade, normalmente expresada en termos de punto de orballo, como o punto de orballo da presión atmosférica -70. C.
Limpeza: o número de partículas contaminantes contidas no gas, o tamaño de partícula de µM, cantas partículas/m3 para expresar, para o aire comprimido, normalmente tamén se expresa en termos de cantas mg/m3 de residuos sólidos inevitables, que cobre o contido de aceite.
Clasificación do tamaño de contaminantes: as partículas de contaminantes, refírese principalmente a un rasco de canalización, desgaste, corrosión xerada por partículas metálicas, partículas de hollín atmosféricas, así como microorganismos, fagos e pingas de condensación de gas que conteñen humidade, etc.
a) Partículas grandes - tamaño de partícula por encima dos 5μm
B) Partícula: diámetro do material entre 0,1μm-5μm
C) Partículas ultra-micro-tamaño de partícula inferior a 0,1μm.
Para mellorar a aplicación desta tecnoloxía, para poder comprender o tamaño das partículas e as unidades μM, ofrécese un conxunto de estado específico de partículas para referencia
A continuación móstrase unha comparación de partículas específicas
| Nome /tamaño de partícula (µm) | Nome /tamaño de partícula (µm) | Nome/ tamaño de partícula (µm) |
| Virus 0,003-0,0 | Aerosol 0,03-1 | Microdropleto aerosolizado 1-12 |
| Combustible nuclear 0,01-0,1 | Pintura 0,1-6 | Fly Ash 1-200 |
| Black de carbono 0,01-0,3 | Po de leite 0,1-10 | Pesticida 5-10 |
| Resina 0,01-1 | Bacterias 0,3-30 | Po de cemento 5-100 |
| Fume de cigarro 0,01-1 | Po de area 0,5-5 | Polen 10-15 |
| Silicona 0,02-0,1 | Pesticida 0,5-10 | Pelo humano 50-120 |
| Sal cristalizado 0,03-0,5 | Po de xofre concentrado 1-11 | Area mariña 100-1200 |
Tempo de publicación: 14 de xuño-2022