A tecnoloxía de tubaxes de gas de alta pureza é unha parte importante do sistema de subministración de gas de alta pureza, que é a tecnoloxía clave para entregar o gas de alta pureza necesario ata o punto de uso e manter a calidade cualificada;A tecnoloxía de tubaxes de gas de alta pureza inclúe o deseño correcto do sistema, a selección de accesorios e accesorios, construción e instalación e probas.Nos últimos anos, os requisitos cada vez máis estritos sobre o contido de pureza e impureza dos gases de alta pureza na produción de produtos microelectrónicos representados por circuítos integrados a gran escala fixeron que a tecnoloxía de canalización de gases de alta pureza se preocupase e enfatizase cada vez máis.O seguinte é unha breve visión xeral das tubaxes de gas de alta pureza a partir da selección de materiaisof construción, así como a aceptación e xestión diaria.
Tipos de gases comúns
Clasificación dos gases comúns na industria electrónica:
Gases comúns（Gas a granel）: hidróxeno (H2), nitróxeno (N2), osíxeno (O2), argón (A2), etc.
Gases especiaisson SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHC3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… etc.
Os tipos de gases especiais pódense clasificar xeralmente como corrosivosgas, tóxicogas, inflamablegas, combustiblegas, inertegas, etc. Os gases semicondutores de uso común clasifícanse xeralmente do seguinte xeito.
(i) Corrosivo/tóxicogas: HCl, BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…etc.
(ii) Inflamabilidadegas: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO... etc.
(iii) combustibilidadegas: O2, Cl2, N2O, NF3… etc.
(iv) Inertegas: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He... etc.
Moitos gases semicondutores son prexudiciais para o corpo humano.En particular, algúns destes gases, como o SiH4 combustión espontánea, sempre que unha fuga reaccione violentamente co osíxeno do aire e comece a arder;e AsH3altamente tóxico, calquera escape leve pode causar o risco de vida humana, é debido a estes perigos obvios, polo que os requisitos para a seguridade do deseño do sistema son particularmente altos.
Ámbito de aplicación dos gases
Como materia prima básica importante da industria moderna, os produtos de gas son amplamente utilizados, e un gran número de gases comúns ou gases especiais utilízanse en metalurxia, aceiro, petróleo, industria química, maquinaria, electrónica, vidro, cerámica, materiais de construción, construción. , procesamento de alimentos, medicina e sectores médicos.A aplicación do gas ten un impacto importante na alta tecnoloxía destes campos en particular, e é a súa materia prima indispensable gas ou gas de proceso.Só coas necesidades e a promoción de varios novos sectores industriais e da ciencia e tecnoloxía modernas, os produtos da industria do gas poden desenvolverse a pasos axigantados en termos de variedade, calidade e cantidade.
Aplicación de gases na industria de microelectrónica e semicondutores
O uso de gas sempre xogou un papel importante no proceso de semicondutores, especialmente o proceso de semicondutores foi amplamente utilizado en varias industrias, desde o tradicional ULSI, TFT-LCD ata a actual industria micro-electro-mecánica (MEMS). que utilizan o chamado proceso de semicondutores como proceso de fabricación de produtos.A pureza do gas ten un impacto decisivo no rendemento dos compoñentes e no rendemento do produto, e a seguridade do subministro de gas está relacionada coa saúde do persoal e a seguridade das operacións da planta.
A importancia das tubaxes de alta pureza no transporte de gas de alta pureza
No proceso de fusión e fabricación de material de aceiro inoxidable, pódense absorber uns 200 g de gas por tonelada.Despois do procesamento de aceiro inoxidable, non só a súa superficie pegajosa con varios contaminantes, senón tamén na súa rede metálica tamén absorbeu unha certa cantidade de gas.Cando hai fluxo de aire a través da canalización, o metal absorbe esta parte do gas volverá a entrar no fluxo de aire, contaminando o gas puro.Cando o fluxo de aire no tubo é de fluxo discontinuo, o tubo adsorbe o gas a presión e, cando o fluxo de aire deixa de pasar, o gas adsorbido polo tubo forma unha caída de presión para resolver e o gas resolto tamén entra no gas puro no tubo. como impurezas.Ao mesmo tempo, a adsorción e a resolución repítense, polo que o metal na superficie interna do tubo tamén produce unha certa cantidade de po, e as partículas de po deste metal tamén contaminan o gas puro dentro do tubo.Esta característica do tubo é esencial para garantir a pureza do gas transportado, o que require non só unha suavidade moi elevada da superficie interna do tubo, senón tamén unha alta resistencia ao desgaste.
Cando se usa o gas con un forte rendemento corrosivo, para a canalización débense utilizar tubos de aceiro inoxidable resistentes á corrosión.En caso contrario, a tubaxe producirá manchas de corrosión na superficie interior debido á corrosión e, en casos graves, producirase unha gran área de decapado de metal ou incluso perforación, que contaminará o gas puro que se vai distribuír.
A conexión de gasodutos de transporte e distribución de gas de alta pureza e alta pureza de grandes caudais.
En principio, todos eles están soldados, e os tubos empregados están obrigados a non ter ningún cambio de organización cando se aplica a soldadura.Os materiais cun contido demasiado elevado de carbono están suxeitos á permeabilidade ao aire das pezas soldadas ao soldar, o que fai que a penetración mutua de gases dentro e fóra da tubaxe e destrúe a pureza, sequedade e limpeza do gas transmitido, o que provoca a perda de gas. todos os nosos esforzos.
En resumo, para o gasoduto de alta pureza e o gasoduto especial de transmisión de gas, é necesario usar un tratamento especial de tubo de aceiro inoxidable de alta pureza, para facer un sistema de canalización de alta pureza (incluíndo tubos, accesorios, válvulas, VMB, VMP) en a distribución de gas de alta pureza ocupa unha misión vital.
Concepto xeral de tecnoloxía limpa para conducións de transporte e distribución
A transmisión do corpo de gas moi puro e limpo con canalización significa que existen certos requisitos ou controis para tres aspectos do gas que se vai transportar.
Pureza do gas: o contido da atmosfera de impurezas no g Pureza do gas: o contido da atmosfera de impurezas no gas, xeralmente expresado como unha porcentaxe de pureza do gas, como o 99,9999%, tamén expresado como a relación de volume do contido da atmosfera de impurezas ppm, ppb, ppt.
Sequedade: a cantidade de trazas de humidade no gas, ou a cantidade chamada humidade, expresada normalmente en termos de punto de orballo, como o punto de orballo a presión atmosférica -70.C.
Limpeza: o número de partículas contaminantes contidas no gas, tamaño de partícula de µm, cantas partículas/M3 quere expresar, para o aire comprimido, normalmente tamén expresado en cantos mg/m3 de residuos sólidos inevitables, que cobre o contido de aceite. .
Clasificación do tamaño dos contaminantes: partículas contaminantes, refírese principalmente ao fregado de conducións, desgaste, corrosión xerada por partículas metálicas, partículas de hollín atmosféricas, así como microorganismos, fagos e gotas de condensación de gas que conteñen humidade, etc., segundo o tamaño do seu tamaño de partícula. divídese en
a) Partículas grandes: tamaño de partícula superior a 5 μm
b) Partícula: diámetro do material entre 0,1 μm-5 μm
c) Ultra-micropartículas: tamaño de partícula inferior a 0,1 μm.
Co fin de mellorar a aplicación desta tecnoloxía, para poder comprender a percepción do tamaño das partículas e das unidades μm, ofrécese un conxunto de estados específicos das partículas para referencia.
O seguinte é unha comparación de partículas específicas
| Nome/Tamaño de partícula (µm) | Nome/Tamaño de partícula (µm) | Nome/Tamaño de partícula (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0,03-1 | Microgotas en aerosol 1-12 |
| Combustible nuclear 0,01-0,1 | Pintura 0,1-6 | Cinzas volantes 1-200 |
| Negro de carbón 0,01-0,3 | Leite en po 0,1-10 | Pesticida 5-10 |
| Resina 0,01-1 | Bacterias 0,3-30 | Po de cemento 5-100 |
| Fume de cigarro 0,01-1 | Po de area 0,5-5 | Polen 10-15 |
| Silicona 0,02-0,1 | Pesticida 0,5-10 | Cabelo humano 50-120 |
| Sal cristalizado 0,03-0,5 | Po de xofre concentrado 1-11 | Area de mar 100-1200 |
Hora de publicación: 14-Xun-2022