O proceso de produción de gases especializados electrónicos inclúe varios procesos como a síntese, a purificación, o recheo, a análise e a proba, a mestura e a proporción. Para cumprir os requisitos de fabricación de semiconductores descendentes para o contido de pureza e impureza, o proceso de purificación é moi importante. Dependendo da composición do gas de síntese ascendente ou do gas cru, realízase a destilación de baixa temperatura ou a purificación en varias etapas.
Requisitos altos de limpeza
O proceso de preparación de gases especiais electrónicos pódese dividir en dous principais bloques de preparación e purificación de síntese ascendente, que pertence ao proceso de produción química. O tamaño do pipeline de produción é grande e non hai un requisito especial de limpeza. Despois da purificación descendente, o produto está cheo de gas e mestúrase para a preparación. O pipeline de produción é pequeno e ten requisitos de nivel de limpeza. Debe cumprir a especificación estándar do proceso de fabricación de semiconductores.
Requisitos de selado altos
Debido á súa actividade química, os gases especiais electrónicos tamén poñen altas demandas sobre os materiais e o selado do sistema de proceso de produción. Do mesmo xeito que os requisitos da fabricación de semiconductores, impide as fugas de interface causadas pola introdución de impurezas ou corrosión de gases especiais. O sistema tamén se pode usar para evitar a introdución de impurezas ou a fuga de interface causada pola corrosión de gases especiais.
Requisitos de estabilidade de alta calidade
A calidade dos gases especializados electrónicos inclúe unha serie de indicadores como a pureza e o contido de partículas de impureza. Calquera cambio nos indicadores afectará aos resultados do proceso de fabricación de semiconductores descendente. Polo tanto, para garantir a coherencia dos indicadores electrónicos de produtos de gas especial, o sistema de proceso de preparación para controlar a estabilidade dos indicadores tamén é moi importante.
Debido á actividade química e aos requisitos de calidade de EGP, o sistema de produción para a preparación de EGP, especialmente o sistema de purificación descendente, debe cumprir os requisitos de materiais de alta pureza, selado elevado, alta limpeza e consistencia de alta calidade e a construción de compoñentes deseñados debe cumprir os estándares da industria fabricante de semiconductores.
O que normalmente nos referimos como "alta pureza" é teoricamente a definición da pureza dunha sustancia, como gases de alta pureza, produtos químicos de alta pureza, etc. Sistemas de procesos ou compoñentes do sistema de proceso que se aplican a substancias de alta pureza tamén se refiren a unha alta pureza, como sistemas de alta pureza e valves de alta pureza. Os sistemas electrónicos de preparación de gases especializados requiren accesorios de aplicacións de alta pureza, válvulas e outros compoñentes fluídos, é dicir, accesorios e válvulas que se procesan con materiais de alta pureza e procesos de fabricación limpos e están estruturados para unha fácil purga e limpeza. Con alto rendemento de selado. Estes compoñentes fluídos están deseñados para cumprir a ruta de fluxo de proceso da aplicación, empregando os requisitos de enxeñaría e construción da industria de semiconductores.
Conexións de canalización de alta pureza
Conexións de selo de rostro de xunta metálica de VCR e conexións de soldadura automática de guía de guía son amplamente utilizadas para esixir os requisitos do proceso de pureza do sistema de fluído debido á capacidade de cumprir tanto a transición suave da ruta de fluxo na conexión, sen zona de estancamento e un alto rendemento de selado. As conexións de VCR forman un selo de superficie estreito extruendo unha xunta de metal relativamente suave. A conexión repetible e consistente e o rendemento de selado está asegurado cada vez que se elimina e substitúe a xunta deformada.
Os tubos están soldados mediante un sistema automático de soldadura orbital. O tubo está protexido por gas de alta pureza por dentro e por fóra. O electrodo de tungsteno xira ao longo da órbita para soldadura de alta calidade. A soldadura orbital totalmente automatizada derrete o tubo sen introducir outros materiais, lograr unha soldadura de alta calidade controlando repetidamente a tubería de parede fina é difícil de conseguir coa soldadura manual.
Conexión de selo de rostro de xunta metálica VCR
Conexión automática de soldadura orbital de tubos
Válvulas de alta pureza
A actividade química dos gases especializados electrónicos inflamables, explosivos, corrosivos e tóxicos, pon altas demandas para o selado da válvula. Para mellorar a fiabilidade do selado, o requisito de válvulas sen envases para evitar fugas externas, é dicir, o funcionamento de conmutación do talo da válvula e o corpo da válvula entre o selo usando follas metálicas ou diafragma metálico, para eliminar as fugas debido á abrasión e á deformación do selo. As válvulas seladas de balbordo e o diafragma úsanse habitualmente nos sistemas de proceso para aplicacións de alta pureza debido á maior fiabilidade dos focos e á limpeza máis sinxela e á substitución da válvula.
As válvulas seladas de balbordo son unha construción de válvulas de agulla sen envasado que permite unha regulación lenta de apertura e fluxo. Usado para o recheo de gas especializado electrónico con requisitos de fluxo de seguridade ou en botellas de orixe precursor con altos requisitos de seguridade. Os selos de punta de talo de todo metal permiten temperaturas de funcionamento extremadamente baixas e úsanse para a licuación criogénica de gases especializados electrónicos en tanques de produtos acabados despois da destilación criogénica para a canalización.
A válvula de selado de diafragma sen primavera é unha válvula de abertura de 1/4 ″ para o seu uso como válvula de conmutación controlada automaticamente na canalización de entrega. Úsanse habitualmente en aplicacións de alta presión, de alta pureza debido á súa sinxela vía de fluxo interno, pequeno volume interno e facilidade de purga e substitución.
As válvulas seladas por diafragma que se pechan a través da punta do talo pódense abrir lentamente e usarse a maiores presións operativas que as válvulas seladas por diafragma non reducidas. Son moi empregados en recheo de gas especializado de alta presión ou botellas de orixe precursor.
A válvula de follas de selo secundario non só se pode usar en sistemas de proceso de temperatura ultra -baixa a -200 graos, senón que tamén impide a fuga de medios perigosos na atmosfera. Normalmente úsase para gases especiais electrónicos moi perigosos, como o sistema de recheo de silano.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, con máis de 10 anos de experiencia na subministración de gases industriais e especializados, materiais, sistemas de abastecemento de gas e enxeñaría de gas para o semiconductor, LED, DRAM, mercados TFT-LCD, podemos proporcionarche os materiais necesarios para empuxar os seus produtos á cabeza da industria. Non só podemos subministrar unha ampla gama de válvulas e accesorios para gases especializados electrónicos semi-condutores, senón que tamén podemos deseñar tubaxes de gas e instalación de equipos para os nosos clientes. Se tes algunha necesidade nesta área, póñase en contacto connosco no 27919860.
Tempo de publicación: xullo 19-2023