O uso de gases na industria dos semicondutores data de principios dos anos 1950 ata 1960. Durante o proceso de fabricación de semicondutores, os gases úsanse principalmente para limpar e protexer os materiais de semiconductores para garantir a súa pureza e calidade. Entre os gases máis empregados están o nitróxeno e o hidróxeno.
A medida que a tecnoloxía de semiconductores desenvolveu e os procesos de fabricación seguían mellorando, aumentou a demanda de gases. En 1970, o desenvolvemento da tecnoloxía de fabricación de semiconductores, a aplicación de gases en procesos clave como o gravado e a deposición de películas finas aumentou gradualmente, e os gases de fluoruro (por exemplo SF6) e o osíxeno convertéronse en gravado e deposición de gases de deposición. 1980 aumentou un aumento da demanda de gases co desenvolvemento de circuítos integrados e o aumento da demanda deles. O hidróxeno foi moi utilizado no proceso de fabricación, incluído o recocido de hidróxeno e a deposición de vapor de hidróxeno. E desde 1990 ata a actualidade, a demanda de gases de alta pureza e gases específicos aumentou a medida que os tamaños dos dispositivos de semiconductor continuaron a reducirse e introduciuse novos procesos. Por exemplo, a aplicación de litografía ultravioleta extrema (EUV) require o uso de gases extremadamente de alta pureza como nitróxeno e hidróxeno.
O gas semiconductor segue aumentando co desenvolvemento de produtos relacionados impulsados por cada vez máis produtos, mentres que o gas tamén pertence á fonte de perigo, polo que os produtos empregados para a descompresión de gas, os produtos de detección de gases e previr os produtos de fuga de gas xurdiron como os reguladores de presión, as válvulas de gas, os medidores de presión, o detector de fuga de gas, etc.
Reguladores de presión: os reguladores de presión son dispositivos empregados para controlar a presión do gas. Normalmente consisten nunha válvula reguladora e un sensor de presión. Os reguladores de presión toman unha entrada de gas de alta presión e estabilizan a presión do gas de saída axustando a válvula para cumprir os requisitos específicos da aplicación. Os reguladores de presión son amplamente empregados en áreas como a industria, a fabricación e os laboratorios, así como na industria dos semicondutores, entre outros, para garantir a estabilidade e seguridade do subministro de gas.
Válvulas de gas: as válvulas de gas úsanse para controlar o fluxo de gases e para pechar as pasaxes de gas. Normalmente teñen unha función on/off que abre ou pecha o fluxo de gas. Hai varios tipos de válvulas de gas, incluíndo válvulas manuais, válvulas eléctricas e válvulas pneumáticas. Son moi utilizados nos sistemas de gas para controlar o fluxo, a presión e o caudal de gases.
Medidores de presión de gas: úsanse os medidores de presión de gas para medir o nivel de presión dun gas. Normalmente están instalados en lugares críticos dos sistemas de gas para controlar os cambios de presión e asegurarse de que estean dentro de límites seguros. Os medidores de presión de gas son amplamente utilizados na industria, na fabricación e os laboratorios, e a industria dos semicondutores tamén estivo implicada.
Detectores de fugas de gas: os detectores de fugas de gas úsanse para detectar fugas nos sistemas de gas. DetectanA presenza de fugas de gas e son unha alarma para que se poida tomar medidas oportunas para evitar accidentes de fuga. Os detectores de fugas de gas son amplamente utilizados en aplicacións industriais, químicas, de petróleo e gas, e a industria dos semicondutores tamén estivo implicada.
Tempo de publicación: febreiro-20-2024