Os diferentes produtos químicos e gases empregados na fabricación de semicondutores requiren sistemas de fluídos robustos para a subministración ininterrompida en todas as etapas da produción. Estes sistemas fluídos deben ser capaces de soportar as condicións de proceso extremas necesarias para a fabricación de semiconductores ao tempo que se asegura un proceso limpo, sen fugas e controlado. Polo tanto, a selección de compoñentes do sistema fluído é fundamental no proceso de fabricación de semiconductores de precisión.
A elección de compoñentes do sistema de fluídos de alta calidade é sinónimo de maior eficiencia de fabricación e redución do tempo de inactividade do sistema. Con respecto ao proceso de fabricación de semiconductores, discutiremos o papel crítico dos compoñentes do sistema fluído e a importancia da súa fiabilidade.
Importancia dos compoñentes do sistema fluído na fabricación de semiconductores
Os compoñentes do sistema de fluídos na fabricación de semiconductores inclúen diferentes sistemas de mestura, transmisión e control de produtos químicos diferentes para transportar fluídos químicos con seguridade nun ambiente controlado. Un sistema de fluído ideal ten:
➢ Mestura química uniforme
Control de contaminación
➢temperatura e control de presión
Subministración química seninterruptada
Só os compoñentes de alta calidade poden proporcionar tales condicións ideais nun sistema de fluídos semicondutores. As vantaxes de usar tales compoñentes inclúen:
Precisos: compoñentes como válvulas, reguladores e bombas funcionan en tándem para garantir que a proporción correcta de produtos químicos se entregue á célula de produción. As entradas precisas eliminan o risco de variacións de fluxo, o que mellora a calidade do produto final.
Compatibilidade e limpeza: compoñentes do sistema de fluídos con composicións de materiais compatibles cos fluídos de proceso reducen o risco de contaminación. Ademais, a instalación sen fugas destes compoñentes do sistema fluído reduce os contaminantes de partículas, proporcionando un ambiente de fabricación limpo e controlado para obter rendementos mellorados.
Seguridade: os gases e produtos químicos empregados na fabricación de semiconductores poden ser prexudiciais para a saúde humana. Non obstante, os compoñentes do sistema fluído deseñados para evitar fugas e vertidos poden entregar estes fluídos ás unidades de produción dun xeito seguro e controlado.
Eficiencia: a construción sen fugas e o control preciso dos compoñentes do sistema de fluídos de alta calidade minimiza os tempos de inactividade operativos e os requisitos de mantemento frecuentes, promovendo a fabricación suave e eficiente para cumprir os obxectivos de produción.
Solucións de compoñentes do sistema fluído fabricado de calidade
Os compoñentes do sistema fluído requiren instalacións de alta calidade para afrontar os retos da fabricación de semiconductores. Os compoñentes clave que afectan ao FAB inclúen:
Válvulas: válvulas de alto rendemento, como o diafragma, a folla ou as válvulas de agulla, regulan idealmente o fluxo de fluído nas instalacións de fabricación. As válvulas duradeiras e de alta calidade proporcionan a precisión e o control necesarios para mellorar a eficiencia da produción e os procesos de manipulación para a fabricación crítica de semiconductores.
Axuma: os accesorios de alta pureza para os sistemas de tubos e mangueira e outros compoñentes críticos proporcionan conexións seladas para mellorar a seguridade e pureza dos compoñentes do sistema fluído.
Manges: para os requisitos de fabricación de precisión, as mangueiras illadas axudan á xestión térmica para que se poidan manter de xeito óptimo as condicións de proceso dentro da sala de produción. Isto é importante porque a máis mínima flutuación da temperatura pode danar os chips e levar a residuos de produción.
Tubo flexible: onde as condicións permiten, pódese usar un tubo flexible para reducir o número de accesorios nun conxunto do sistema fluído. O tubo está dobrado para obter a ruta de fluído desexada. Menos accesorios significa menos risco de fugas e danos debido á vibración e ao movemento.
Reguladores: os reguladores controlan eficazmente a presión en cada etapa do proceso de fabricación de semiconductores. O fluxo constante e preciso consegue rendementos consistentes e de alta calidade evitando produtos químicos fluídos e materiais especializados.
Filtros: unha única partícula pode afectar o rendemento do semiconductor. O uso de filtros de pureza de alta alta elimina a contaminación de partículas e minimiza os danos do chip.
A eficiencia do sistema fluído na fabricación de semiconductores pódese conseguir coa gran variedade de válvulas de alta calidade, accesorios, reguladores, mangueiras e filtros de AFK-LOK.
Tempo de publicación: outubro-09-2023