Aplicación de gas especial de tratamento de gas Tail Gas！

Os equipos de tratamento de gases de cola poden xestionar gases empregados nos procesos de gravado e os procesos de deposición de vapores químicos nas industrias de semiconductor, cristal líquido e enerxía solar, incluíndo SIH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, e así on.

Método de tratamento de gas de escape

Segundo as características do tratamento con gas de escape, o tratamento pódese dividir en catro tipos de tratamento:

1. Tipo de lavado de auga (tratamento de gases corrosivos)

2. Tipo oxidante (tratar con gases combustibles e tóxicos)

3. Adsorción (segundo o tipo de material de adsorción para tratar o gas de escape correspondente).

4. Tipo de combustión de plasma (pódense tratar todo tipo de gases de escape).

Cada tipo de tratamento ten as súas propias vantaxes e desvantaxes, así como o seu alcance de aplicación. Cando o método de tratamento é o lavado de auga, o equipo é barato e sinxelo e só pode manexar gases solubles en auga; O rango de aplicacións do tipo de lavado de auga eléctrica é superior ao do tipo de lavado de auga, pero o custo de operación é elevado; O tipo seco ten unha boa eficiencia do tratamento e non é aplicable ao fluxo de gas que é fácil de bloquear ou fluír.

Os produtos químicos e os seus subprodutos usados ​​habitualmente na industria dos semicondutores pódense clasificar segundo as súas propiedades químicas e os seus diferentes rangos:

1. Gases inflamables como SIH4H2, etc.

2. Gases tóxicos como Ash3, pH3, etc.

3. Gases corrosivos como HF, HCL, etc.

4. Gases de efecto invernadoiro como CF4, NF3, etc.

Dado que os catro gases anteriores son prexudiciais para o medio ambiente ou o corpo humano, debe evitar a súa emisión directa na atmosfera, polo que a planta de semicondutores xeral está instalada cun gran sistema de tratamento de gases de escape centralizado, pero este sistema só é de escape de frega de auga, polo que a súa aplicación está limitada á división de auga de soluble de longa distancia e non pode tratar os gases de gasoluble. Polo tanto, é necesario seleccionar e coincidir cos correspondentes equipos de tratamento de gases de escape segundo as características do gas derivadas de cada proceso para resolver o problema do gas de escape dun xeito pequeno. Como a área de traballo está principalmente afastada do sistema central de tratamento de gases de escape, a miúdo debido ás características do gas, levan á cristalización ou á acumulación de po no gasoduto, dando lugar a obstrución do gasoduto que conduce a fugas de gas e, en casos graves, incluso causar unha explosión, non pode asegurar que a seguridade laboral do persoal do persoal. Polo tanto, na área de traballo hai que configurar un pequeno equipo de tratamento de gas de escape adecuado para as características do gas de proceso, para reducir o gas de escape estancado na área de traballo, para garantir a seguridade do persoal.