.
1 | Presión máxima de traballo 20,6 Mpa. |
2 | Máx.temperatura de traballo 204 ℃ (ambiente de alta temperatura ata 454 ℃, neste momento o material de selado substitúese por grafito expandido) |
3 | Sistema de filtro Son aplicables partículas contaminantes, gases e líquidos. |
4 | Filtro de filtro sinterizado de metalurxia de po de aceiro inoxidable precisión 2μm ~ 40μm |
5 | Caudal do filtro 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | O filtro pódese cambiar. |
Características do produto Filter
1 | Amplio rango de aplicación, rango de caudal de 15 a 300 SL/min. |
2 | Ten unha boa compatibilidade coa maioría dos gases de proceso de semicondutores de alta pureza. |
3 | A capacidade de filtración de 3 nanopartículas mantén unha alta eficiencia de fluxo e unha caída de presión ultra pequena. |
4 | A superficie electropulida 5Ra pode evitar a contaminación interna. |
5 | Ás con nitróxeno quente despois de auga desionizada para cumprir os estándares do proceso de semicondutores. |
6 | Taller aséptico de nivel 1000 de fabricación, limpeza e ambiente de envasado. |
7 | Proba de fuga de helio 100%. |
Entrada | Outlet | |
1 | Racor para tubo de 1/8″ | Racor para tubo de 1/8″ |
2 | Racor para tubo de 1/4″ | Racor para tubo de 1/4″ |
3 | Racor para tubo de 3/8″ | Racor para tubo de 3/8″ |
4 | Racor de tubo de 1/2″ | Racor de tubo de 1/2″ |
5 | Racor para tubo de 6 mm | Racor para tubo de 6 mm |
6 | Racor para tubo de 8 mm | Racor para tubo de 8 mm |
7 | Racor para tubo de 10 mm | Racor para tubo de 10 mm |
8 | Racor para tubo de 12 mm | Racor para tubo de 12 mm |
9 | NPT femia de 1/8″ | NPT femia de 1/8″ |
10 | NPT femia de 1/4″ | NPT femia de 1/4″ |
11 | NPT macho de 1/4″ | NPT macho de 1/4″ |
12 | 3/8″ NPT macho | 3/8″ NPT macho |
13 | NPT macho de 1/2″ | NPT macho de 1/2″ |
Parámetros de rendemento do produto do filtro
1 | Precisión de filtrado | ≥0,0025 μm | |
2 | Eficiencia de filtración | Taxa de eliminación 99,99999%≥0,0025μm | |
3 | Caudal nominal | 15 l/min | |
4 | 60 l/min | ||
5 | 120 l/min | ||
6 | 200 l/min | ||
7 | 300 l/min | ||
8 | Composición do filtro | elemento filtrante | 316L/PTFE |
9 | vivenda | aceiro inoxidable 316L | |
10 | Condicións de traballo | Presión máxima de entrada | 21 Mpa (310 kgf/cm2) |
11 | Presión diferencial máxima | 15Mpa (153kgf/cm2) | |
12 | Temperatura máxima de funcionamento | 430 ℃ (gas inerte) | |
13 | Taxa de fuga de helio | 1×10-9 atm.cc/seg | |
14 | Acabado superficial | ≤Ra 5μin |